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KEYENCE基恩士推出SI-F系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計

供稿：基恩士（中國）有限公司 2011/10/14 15:31:12
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產品索引

•	[超高精度] 分辨率:0.25 μm
•	[超小尺寸] 微型傳感頭尺寸:ø2 mm
•	[超前技術] 測量原理:分光干涉法
•	同時控制 6 個傳感頭
•	多重計算
•	控制器配有 6 個不同的輸入輸出接口
•	易于使用的數據收集專用 PC 軟件

隆重推出業界超細微型傳感頭，其擁有同類產品中最高的測量精度，并實現了過去認為不可能實現的性能。

產品特性

選擇各種傳感頭
選擇各種傳感頭，擴大測量應用范圍
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微型傳感頭型

最適合要求在狹小高溫的環境下進行的超高精度測量。

SI-F01

主要技術數據

長距離型

長距離高精度測量。

SI-F10

主要技術數據

厚度（間隙）測量型

專用于厚度測量，因而可實現高精度。

SI-F80

主要技術數據

不發熱、無噪音

光纖頭結構的優點

測量頭僅由光纖和鏡頭組成，無電子部件。

光譜干涉系統的原理

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[概要]

從光源(SLD)發出的寬波長光帶，經傳感頭內部的參考反射面與對象物表面這兩面的反射后，返回到光纖內部。這兩個反射光是相互干涉的。各波長的干涉光強度由參考反射面與對象物的距離而決定。(如果知道各波長的干涉光強度，那么即能夠求算出對象物的距離。)通過分光器對干涉光的每個波長實施分光后，使其在CCD形成圖像，就能夠得出波長的強度分布。分析這個強度分布，就能夠算出至對象物為止的距離。

[詳細(概要內容的詳細說明)]

“從光源(SLD)發出的寬波長光帶”...

光具有波的性質，通常將一個波形的長度稱之為“波長”。也就是說，光以一波而前進的距離。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)擁有810nm至830nm的波長光帶。

"兩個反射光是相互干涉的"...

干涉，是指波的干涉。復數的波相重合，就形成了新的波形。
干涉具有兩個法則: (1) 只有相同的波長才會產生干涉、(2) 如果為同相，則振幅會轉為極大。

(1) : 例如，810nm和820nm的光不會產生干涉。只有在雙方都為810nm或雙方都為820nm的光才會產生干涉。
(2) : 如下圖所示，當在相同地點，波峰與波峰、波谷與波谷相重合時(稱之為同相)，干涉波的振幅轉為極大;當波峰與波谷相重合時(稱之為逆相)，振幅轉為極小。干涉波振幅的大小由兩個波的重合時機而決定。

SI干涉波的大小由參照反射面與對象物表面所返回來的兩個波相重合的時機而決定。

智能控制器
智能控制器帶來便利性和易用性
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同時控制 6 個傳感頭

在主控制器上附加擴展單元就可以同時使用 6 個傳感頭進行測量。

所有傳感頭同時測量

多個傳感頭被同步，實現同時測量。這可用于同時測量移動物體上的多個點以及對傳感頭間的物體進行高精度測量。

多重計算

可立即計算多個傳感頭的測量值。只需簡單的設定即可讓控制器執行復雜的計算。

[測量與參考點的相對段差高度]
獲得各個測量點和參考點之間的高度差。

測量值 1 = A - B,
測量值 2 = A - C,
測量值 3 = A - D, ...

[測量相對差值]
測量特定傳感頭和工件的相對距離差異。

測量值 1 = A - B,
測量值 2 = B - C,
測量值 3 = A - C, ...

[測量平整度]
獲得所有測量值的最大值和最小值的差值。

測量值 1 =
最大值 (A, B, C, ...) - 最小值 (A, B, C, ...) ...

[測量翹曲度]
獲得指定測量點的翹曲度。

測量值 1 = B - (A + C)/2 ...

[測量多個點的厚度]
使用成對傳感頭測量多個點的厚度。

測量值 1 = X - (A + B),
測量值 2 = Y - (C + D),
測量值 3 = Z - (E + F), ...

[測量平均高度]
獲得表面上指定測量點的平均高度。

測量值 1 = 平均 (A, B, C, ...), ...

多樣化的接口

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多樣化的接口

控制器配有 6 個不同的輸入輸出接口，幾乎可與任何外圍設備通信。

獨立顯示/設定面板

控制器設計以易用性為重，因此具備獨立顯示屏。顯示／設定面板是否分離取決于控制器的安裝方式。顯示屏可脫離控制單元獨立安裝，控制器可安裝在控制面板的 DIN 導軌上。在桌面上使用時，可將控制器單元和顯示屏合并為一個單元。

在桌面上使用時

顯示屏/控制器一體化可節省安裝空間。

連接控制單元時

顯示屏可安裝在前面板上，控制器可安裝在控制面板的 DIN 導軌上。

顯示光量

以 256 級顯示傳感頭接收的光量。檢查接收光量有助于確認單個工件的測量穩定性并減少安裝時調整角度所需的工時。

當傳感器與工件成直角安裝時：

大量反射光返回傳感器。

當傳感器與工件成斜角安裝時：

返回傳感器的反射光不足。

軟件

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"SI-Navigator 3", 易于使用的數據收集專用 PC 軟件

還必須滿足您的操作系統所需的系統要求。
1. 支持 Home Premium、Professional 和 Ultimate。
2. 支持 Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic。
3. 支持 Professional SP2 以上版本及 Home Edition SP2 以上版本。
4. 支持 SP4 以上版本。
5. 不支持通過 USB 集線器連接。
6. 不支持通過內部局域網或路由器連接。必須使用直線或本地連接。